日韩“氟化氢”禁运华为恐受波及

  距离出口管制实施，已逝去约3周时间，期间最引人关注的并非日本几乎垄断的光刻胶和氟化

  《韩民族日报》7月12日报道，韩国政府官员11日表示，俄罗斯最近通过外交途径向韩国政府方面表示，有意向韩国企业供应本国生产的氟化氢。

  7月16日，据韩媒报道，为了应对日本对韩国半导体材料出口限制，SK海力士慢慢的开始测试从中国进口氟化氢原料，而三星近日则大规模从西安采购高纯度氟化氢。

  氟化氢（hydrogen fluoride），标况下为带有强烈刺激性气味的无色透明液体，在常温常压下极易挥发成白色烟雾，能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，腐蚀性极强，能腐蚀玻璃和硅酸盐而生产四氟化硅，易溶于水和醇，难溶于有机溶剂。

  氟化氢用途十分普遍，高纯度的氟化氢在半导体材料的生产中扮演着不可或缺的重要角色，可用于大规模集成电路的刻蚀及清洗。

  半导体制造所用的高纯度氟化氢对于所有单项金属杂质的质量分数要求极为严苛。高纯度氢氟酸在生产的全部过程中还没达到实际所需要的酸浓度时，需要储存在特制设备内调节酸的浓度制备产品。由于对杂质含量的要求极为苛刻，如何在储存环节中避免二次污染，是重要的难题。目前国际上使用高纯聚四氟乙烯等作为设备内衬、管路及阀件材料，已能更有效地保存高纯度氢氟酸，但是保存的时间亦不能太久。所以，晶圆厂对于电子级氟化氢或氢氟酸的原材料，往往是小批量、一批一批购买，买来即用。

  因此，7月4日之后，三星和SK海力士晶圆厂所用的高纯氟化氢的库存就显得颇为紧张，快速寻找替代供应商已是迫在眉睫。

  7月16日，快科技报道，SK海力士慢慢的开始测试韩国SoulBrai公司供应的高纯度氟化氢材料，而据悉三星也已经在旗下的半导体制造工厂中应用了SoulBrain公司的氟化氢材料。

  秀博瑞殷（西安）电子材料公司是SoulBrain在中国的子公司。而据多氟多官方透露，目前多氟多具有1万吨电子级氢氟酸生产线，是UPSS级氢氟酸的替代进口产品，而秀博瑞殷是多氟多客户之一！

  7月17日，澎湃新闻透露，韩国三星和SK海力士要求一家本土供应商增加芯片制造所需的关键化学品供应，已防止生产受到阻碍。Foosung的高管表示，“他们（指三星和海力士）几乎每天都在检查，以获得更多的供应。

  据三美股份招股说明书透露，Foosung集团在2017、2018年均为公司氟化氢产品的第一大客户。并且，三美股份与三星此前的高纯度氟化氢供应商森田化学工业合资成立“森美化工”，销售无水氟化氢、氟化合物产品及副产品。

  除此之外，联创股份日前透露，其控股子公司山东华安新材料有限公司营业范围有氢氟酸产品，一直是韩国Foosung集团的优质供应商。

  电子化工新材料产业联盟7月16日消息，滨化集团电子级氢氟酸已成功拿到部分韩国半导体厂商的批量订单。

  据报道，韩国在投资国内技术研发的同时也在寻找多元化市场。此次滨化集团经过多批次的样品检测和小批量试验后，最终与韩国企业建立正式合作伙伴关系。据悉，目前陆续有韩国企业向滨化集团下了批量订单。

  据日本媒体分析，日本对韩国出口管制或波及中国。日本的贸易统计显示，日本2018年向韩国出口了约36,800吨氟化氢。而韩国氟化氢的最大进口国是中国，但如果仅限于用于半导体晶圆清洗的超高纯度产品，则日本的StellaChemifa和森田化学工业掌握约9成份额。从中国进口的被认为是低纯度产品，用途不同。

  据韩国贸易协会的数据，韩国2018年向中国出口了4050吨氟化氢。韩国产业通商资源部的有关人员表示：从日本进口的氟化氢在韩国加工后，由三星电子和SK海力士在韩国的半导体工厂使用，其中一部分被出口到两家企业的中国工厂，并强调进行了严格管理：在将氟化氢出口到中国之时，政府要求供应商签署保证书，写明最终用户并严格遵守。形成了如出售给第三方或虚假申报被发觉被追究法律责任的体制。

  据报道称，虽然需要办理手续，但韩国能以宽松的条件将从日本进口的材料顺利出口到中国，是因为日本政府将韩国列入作为出口目的地让人信服的“白名单国家”。如果从白名单中剔除，审查和手续有可能变得更严格，需要经过复杂的手续。

  报道引述中国的海关统计显示，来自韩国的高纯度氟化氢的进口量2018年约为4000吨。其中大部分为日本制造，经由韩国出口到中国。而从出口目的地来看，约7成是陕西省，约3成是江苏省。陕西省西安市有三星电子的NAND型闪存工厂，而江苏省无锡市有SK海力士的DRAM工厂。

  三星和SK海力士在半导体存储器全球份额上合计掌握5～7成。韩国的分析师认为，三星在中国生产NAND型闪存的25％，而SK海力士在中国生产DRAM的40％。如果日本的出口管制强化导致氟化氢的对韩出口停滞，韩国对中国的出口也将随之停滞，两家企业的半导体生产有可能受一定的影响。报道引述了解半导体行业的一名中国证券公司的分析师表示，预计尤其将对华为技术等企业产生较大影响，还可能对个人电脑与服务器等厂商产生影响。

  韩国厂商减少半导体生产的情况下，中国难以通过国产来弥补。中国在高科技产业培育政策“中国制造2025”中将半导体指定为重点领域，力争到2020年将自给率提高至40%。目前中国的半导体自给率被认为在10%多一点。虽然中国大力推进半导体的国产化，美国、日本和荷兰的企业依然垄断着大部分先进装置的市场。在中国的半导体行业，不少观点认为“越是高性能半导体，越难实现国产化，需要几年时间”，目前仍不得不依赖进口。

  日本经济新闻报道说，三星等韩国企业已开始寻找替代材料，不过情况不容乐观。半导体基板的清洗和电路开槽使用的氟化氢方面，昭和电工只有川崎事业所（川崎市）一处生产基地。日本Stella Chemifa虽然在新加坡也生产氟化氢，但日本有分析师表示：韩国厂商在中国的半导体生产只选择日本产蚀刻气体，证明在纯度等品质层面日本产蚀刻气体难以被替代。今后也很可能会形成日本企业直接向中国出口的全新供应链形式。

  中国氟化氢生产大多分布在在浙江、福建、江苏、山东、江西、内蒙等地。20世纪90年代以来，由于含氟制冷剂、发泡剂、清洗剂市场的拓展，中国氟化氢生产得到快速地发展。据统计，2010年中国的氟化氢年产能达到144.4万吨，2014年达到165.2万吨，年均增长约为3.31%。到了2018年，中国氟化氢生产线条（不包括甘肃白银自用），年产能达到192.1万吨，实际产量158.8万吨。

  然而，中国目前生产的氟化氢多为中低端产品，在超高纯氟化氢技术方面还处于中低阶段，产品的质量与日本企业存在比较大差距，超高纯氟化氢仍然依赖进口。

  目前，国内外对于高纯氢氟酸还未有通用标准，国外高纯氢氟酸生产企业及应用企业主要以半导体行业的需求为分级基准，参考的是SEMI国际通用标准等级。

  中国目前有能力生产高纯氢氟酸的企业约有10家，主要是多氟多、凯圣氟化学、滨化集团、江阴润玛等。中国企业通常参照行业标准“工业高纯氢氟酸HG/T 4059-2013标准”，此标准根据产品中杂质离子含量的不同将高纯氢氟酸分为EL级、UP级、UPS级、UPSS级、UPSSS级。

  两项标准的不同之处在于中国国内的标准相对于国外标准而言较为宽松，个别指标不做要求。从标准的执行情况和修订的范围来看，中国的高纯氢氟酸在产品质量和应用领域上都与国外企业存在很大的差距，也间接说明了中国半导体行业与国外的技术水平差距。

  中国氟化氢亟待向高端化发展，此次日本对韩限制出口半导体材料，对于中国企业而言，既是机遇，亦是挑战！

  文章出处：【微信号：SEMI2025，微信公众号：半导体前沿】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

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